產(chǎn)品詳情：
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工作范圍 |
mm |
φ0.025mm to φ1mm |
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Z方向最大變焦范圍 |
mm |
±1mm |
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系統(tǒng)入射光斑大小 |
mm |
10mm |
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聚焦光斑大小(1/e2)M2=1 |
um |
25um |
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最大進給角度 |
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18° |
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旋進頻率 |
HZ |
200-600HZ（12000-36000rpm） |
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物鏡焦距 |
mm |
50mm |
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重復(fù)精度 |
um |
≤0.5um（常溫老化8H） |
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入射角的理論分辨率 |
urad |
2urad |
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尺寸(L*W*H) |
mm |
601×280×274 |
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重量 |
Kg |
23.5 |
