電機(jī)結(jié)構(gòu)：
單軸振鏡電機(jī)包含高精度傳感器和基于移動(dòng)磁鐵技術(shù)的電機(jī)部分。電機(jī)轉(zhuǎn)子經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)，有極佳的動(dòng)態(tài)屬性和響應(yīng)特性，此外，電機(jī)具有高剛性和低摩擦的特點(diǎn)。另外通過運(yùn)動(dòng)學(xué)和動(dòng)力學(xué)仿真，針對(duì)每個(gè)電機(jī)都匹配了一定慣量的鏡片。
Ultra-Galvo：
用光電傳感器作為反饋系統(tǒng)的振鏡，特點(diǎn)是有較高的重復(fù)精度和線性度，而且性價(jià)比極高。
Extra-Galvo：
用光柵編碼器作為反饋系統(tǒng)的振鏡，對(duì)比光電振鏡，具有更高的位置解析度、更好的重復(fù)性和更低的漂移，即使在環(huán)境溫度變化的條件下，也保持較好的重復(fù)性。
傳感器對(duì)比
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Ultra-Galvo |
Extra-Galvo |
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最大角度(°) Maximum angle (°) |
±12.5 |
±12.5 |
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非線性度(%)Nonlinearity (%) |
＜0.4 |
＜0.1 |
|
重復(fù)精度(μrad) Repeatability (μrad) |
＜5 |
＜2 |
|
零位漂移（μrad/K）Offset Drift（μrad/K） |
＜15 |
＜15 |
|
增益漂移（ppm/K）Gain Drift（ppm/K） |
＜50 |
＜8 |
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位置解析度Position resolution |
18位 |
23位 |
技術(shù)參數(shù)
|
XXS |
XS |
S |
M |
L |
||
|
入口光斑Input Beam Aperture (mm) |
<7 |
7 |
8.5 |
10 |
14 |
20-30 |
|
轉(zhuǎn)動(dòng)慣量Moment of inertia(g?cm2) |
0.013 |
0.018 |
0.174 |
0.34 |
1.2 |
5.1 |
|
力常數(shù)Force constant(N?mm/A) |
1.2 |
2.7 |
5.3 |
7.5 |
15 |
24 |
|
線圈電阻Coil resistance(Ω) |
2.1 |
3.6 |
2.1 |
2.7 |
2.6 |
1.58 |
|
線圈電感Coil inductance(μH) |
35 |
70 |
63.5 |
165 |
275 |
385 |
|
最大連續(xù)電流Maximum continuous current(A) |
2.3 |
2.3 |
2.3 |
2.5 |
3.5 |
5 |
|
峰值電流Peak current(A) |
6 |
8 |
10 |
10 |
10 |
10 |
|
上升時(shí)間Rise Time(ms) |
0.13 |
0.10 |
0.15 |
0.18 |
0.3 |
0.7 |
|
質(zhì)量Weight(g) |
13 |
18 |
50 |
220 |
300 |
400 |
|
光柵振鏡Grating galvanometer |
S |
M |
L |
|
入口光斑Input Beam Aperture (mm) |
10 |
14 |
20-30 |
|
轉(zhuǎn)動(dòng)慣量Moment of inertia(g?cm2) |
0.6 |
1.5 |
7.2 |
|
力常數(shù)Force constant(N?mm/A) |
7.5 |
15 |
24 |
|
線圈電阻Coil resistance(Ω) |
2.7 |
2.6 |
1.58 |
|
線圈電感 Coil inductance(μH) |
155 |
275 |
385 |
|
最大連續(xù)電流Maximum continuous current(A) |
2.5 |
3.5 |
5 |
|
峰值電流 Peak current(A) |
10 |
10 |
10 |
|
上升時(shí)間 Rise Time(ms) |
0.2 |
0.3 |
0.7 |
|
質(zhì)量Weight(g) |
220 |
300 |
400 |
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