產(chǎn)品名稱：5軸振鏡微加工系統(tǒng)
1：主要參數(shù)：
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工作范圍 |
mm |
φ0.025mm to φ1mm |
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Z方向最大變焦范圍 |
mm |
±1mm |
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系統(tǒng)入射光斑大小 |
mm |
10mm |
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聚焦光斑大小(1/e2)M2=1 |
um |
25um |
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最大進給角度 |
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18° |
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旋進頻率 |
HZ |
200-600HZ（12000-36000rpm） |
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物鏡焦距 |
mm |
50mm |
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重復(fù)精度 |
um |
≤0.5um（常溫老化8H） |
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入射角的理論分辨率 |
urad |
2urad |
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尺寸 Dimension(L*W*H) |
mm |
601×280×274 |
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重量 Weight |
Kg |
23.5 |
2：應(yīng)用領(lǐng)域：
汽車工業(yè)（噴油嘴孔鉆削），航空航天工業(yè)（渦輪葉片的冷卻氣膜孔），電子和電信行業(yè)，鐘表行業(yè)，過濾行業(yè)，醫(yī)療技術(shù)行業(yè)（冠狀動脈支架切割）
3：產(chǎn)品主要特點及核心競爭力：
普通激光振鏡鉆孔系統(tǒng)只能加工錐孔，無法做到標(biāo)準直孔和倒錐孔的加工。而5軸激光微加工系統(tǒng)，除了標(biāo)準直孔，錐孔的加工以外，還能加工倒錐孔，極大的擴展了激光振鏡鉆孔的應(yīng)用。
搭配不同波長及超快激光器，能做到鉆孔熱效應(yīng)小，表面處理光滑等特點。才使加工材質(zhì)無限制，真正應(yīng)用到了各行各業(yè)的鉆孔加工。
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研究內(nèi)容及技術(shù)路線： 1、系統(tǒng)光路的設(shè)計 它包括兩部分的內(nèi)容: 1) 實現(xiàn)工作面高度方向上的微小調(diào)整的光路的研究：通過內(nèi)置變焦組可以實現(xiàn)這一目的 2) 實現(xiàn)任意點多角度入射的光路的研究：根據(jù)物點在光學(xué)系統(tǒng)焦點前后移動時離軸主光線的變化及振鏡系統(tǒng)形成的虛擬物點即可實現(xiàn)該功能
2、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的設(shè)計 1)采用高速高精的全數(shù)字振鏡及數(shù)字音圈電機實現(xiàn)極高的動態(tài)調(diào)焦精度，極小的跟蹤誤差。 2)通過對振鏡系統(tǒng)進行熱力學(xué)分析、散熱分析和仿真，避免光學(xué)器件發(fā)熱導(dǎo)致的工作可靠性問題。 3)采用高精度數(shù)控機床對重要結(jié)構(gòu)件一次定位裝夾的加工方法，保證振鏡運動模塊的高精度安裝。
3、系統(tǒng)加工精度的研究 1)單軸定位精度的研究 振鏡的定位精度會直接影響設(shè)備的加工精度，而影響振鏡定位精度的因素主要有振鏡反饋系統(tǒng)及控制器的精度以及校正的精度。采用自主研發(fā)的24位高精度編碼器，結(jié)合基于PID和前饋控制器的高帶寬驅(qū)動器，提升了系統(tǒng)的控制精度。 2)多軸同步控制的研究 它包括兩部分的內(nèi)容: ①為了保證精確同步需要在同一個處理器同一控制時鐘下處理各軸位置數(shù)據(jù).本設(shè)計采用高速數(shù)字芯片FPGA來實現(xiàn) ②各軸同步算法的研究 以上技術(shù)研究，全部由公司自主研發(fā)，全面實現(xiàn)國產(chǎn)化。在國內(nèi)尚屬首次。國外同系列產(chǎn)品：包括德國SCANLAB和ARGES，Fraunhofer，AEROTECH，GFH等。做為高端微加工系統(tǒng)，其采購價格貴，且有特殊行業(yè)限制。 |
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